Форма документа : Стаття зі збірника (однотомник) Шифр видання : 061/Х 210 Автор(и) : Хороших В. М., Леонов С. А., Белоус В. А., Носов Г. И., Куриленко Г. Н. Назва : Параметры плазмы вакуумной дуги и особенности процесса получения TiN покрытий на изделиях малых размеров Місце публікування : Вісник Харківського національного університету імені В. Н. Каразіна. Серія фізична. - Х.: ХНУ ім. В. Н. Каразіна, 2007. - № 784: Ядра, частинки, поля, Вип. 4(36). - С. 108-112 Примітки : Библиогр. в конце ст. УДК : 061 Предметні рубрики: Фізика-- Плазма Фізика-- Фізична природа матерії-- Молекулярні системи-- Плівки Примірники :1(1) Вільні : 1(1) Дод.точки доступу: Леонов, С. А.; Белоус, В. А.; Носов, Г. И.; Куриленко, Г. Н.