539.21
М 744


   
    Моделювання процесу росту оксиду на поверхні при дифузії в тонких плівках в умовах дії "кисневого насоса" [Текст] / А. І. Олешкевич [и др.] // Український фізичний журнал. - 2010. - Т. 55, № 9. - С. 1005-1014. - Бібліогр. в кінці ст.
УДК
Рубрики: Фізика--Фізична природа матерії--Властивості та структура молекулярних систем--Одержання тонких плівок
   Фізика--Фізична природа матерії--Властивості та структура молекулярних систем--Дифузія, самодифузія



Дод.точки доступу:
Олешкевич, А. І.; Гусак, А. М.; Сидоренко, С. І.; Волошко, С. М.