533.9 К 170     Калашников, Е. В.     Исследование ионной имплантации в условиях струйного диафрагменного разряда в вакууме [Текст] / Е. В. Калашников, С. Н. Калашникова // Оптический журнал. - 2009. - Т. 76, № 9. - С. 76-81. - Библиогр.: с. 81 (8 назв.) УДК 533.9 Рубрики: Фізика--Плазма, гази Кл.слова (ненормовані): Легування іонне -- Розряд струнний -- Імплантація плазменна Дод.точки доступу: Калашникова, С. Н.