Наукова бібліотека Чернівецького національного університету

Головна

Місце
зберігання
примірників

Бази даних

Систематична картотека статей- результати пошуку

Вид пошуку

Книги

БД Авторефератів

Краєзнавча картотека

Конференції і вісники

Фонд відділу рідкісних та цінних книг

Систематична картотека статей

Фонд Австрійської бібліотеки

Праці викладачів ЧНУ

Періодика

SPRINGER книги (2017)

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>S=Хімічні елементи -- Неметали 3, 4, 6 груп -- Телур<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.794:546.48'24
Н 761

Новосядлий, С. П.
Багатозарядна радикальна імплантація при формуванні SOI-структур [Текст] / С. П. Новосядлий, В. М. Вівчарук // Фізика і хімія твердого тіла. - 2008. - Т. 9, № 3. - С. . 659-667. - Бібліогр. : с. 666-667 (11 назв.)

УДК

621.794:546.48'24

Рубрики: Машинобудування, техніка--Технологія механічної обробки--З'єднання матеріалів, обробка та остаточна обробка поверхні--Хімічна завершальна обробка та обробка поверхні
Хімічні елементи--Неметали 3, 4, 6 груп--Телур
Хімічні елементи--Елементи 2-ї групи, метали 2-ї групи--Кадмій
Кл.слова (ненормовані):
Монокремній -- Радикальні іони -- Ізолюючий шар -- Захований ізолюючий шар -- Оксинітрид кремнію -- Спейсерна технологія -- Ретроградна концентрація домішок

Дод.точки доступу:
Вівчарук, В. М.

Знайти схожі