Влияние температуры на структуру слоев ZnSe, полученных методом газофазного химического осаждения [Текст] : научное издание / Е.М. Гаврищук, В.Б. Иконников, Л.А. Кузнецов, С.М. Мазавин> // Неорганические материалы. - 2006. - Т. 42, № 12. - С. 1428-1433. - Бібліогр.: 12 назв Рубрики: Фізика твердого тіла--Матеріалознавство Хімічна термодинаміка--Термохімія Кл.слова (ненормовані): Зона осадження -- Температура на поверхні осаду Анотація: Розраховано теплообмін між підложкою, зростаючим шаром та газовим потоком в CVD-реакторі. Дод.точки доступу: Гаврищук, Е.М.; Иконников, В.Б.; Кузнецов, Л.А.; Мазавин, С.М. |