Гладковський, В. В.     Спектроскопічні дослідження плазми високочастотного розряду при плазмохімічному травленні епітаксіальних структур нітриду галію [Text] / В. В. Гладковський, О. А. Федорович // Український фізичний журнал. - 2017. - Т. 62, № 3. - С. 206-211. - ткст ст. англ. мов. - Бібліогр. в кінці ст. Рубрики: Фізика--Плазма    Фізика--Оптика--Спектри    Хімія--Аналітична хімія--Методи спектрального та оптичного аналізу Дод.точки доступу: Федорович, О. А.