Х 210 Хороших, В. М. Параметры плазмы вакуумной дуги и особенности процесса получения TiN покрытий на изделиях малых размеров [Текст] / В. М. Хороших, С. А. Леонов [и др.] // Вісник Харківського національного університету імені В. Н. Каразіна. Серія фізична. - Х. : ХНУ ім. В. Н. Каразіна, 2007. - № 784: Ядра, частинки, поля, Вип. 4(36). - С. 108-112. - Библиогр. в конце ст.
Фізика--Фізична природа матерії--Молекулярні системи--Плівки Дод.точки доступу: Леонов, С. А.; Белоус, В. А.; Носов, Г. И.; Куриленко, Г. Н. Є примірники у відділах: 1 Інв.В 71657 - Б.ц. (вільний) |