539.23 К 546     Князева, А. Г.     Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления [Текст] / А. Г. Князева, С. А. Шанин // Известия высших учебных заведений : Физика. - 2010. - Т. 53, № 1. - С. 76-81. - Библиогр. в конце ст. УДК 539.23 Рубрики: Фізика--Фізична природа матерії--Властивості та структура молекулярних систем--Одержання тонких плівок Дод.точки доступу: Шанин, С. А. Є примірники у відділах: Зал період. - Б.ц. (вільний)