539.23
М 601
Миленин, П.
Формирование электродных покрытий кварцевых пьезоэлементов СВЧ-резонаторов [Текст] / П. Миленин> // Наноиндустрия. - 2010. -
№ 2
. - С. 14-15. - Библиогр. в конце ст.
УДК
539.23
Рубрики:
Фізика--Фізична природа матерії--Властивості та структура молекулярних систем--Одержання тонких плівок