539.23 Б 273     Баскин, В.     Комплексный подход к развитию отечественной базы микро- и наносистемной техники [Текст] / В. Баскин, В. Быков // Наноиндустрия. - 2010. - № 3. - С. 4-6. - Библиогр. в конце ст. УДК 539.23 Рубрики: Нанокластерні та нанокристалічні матеріали--Наноструктури--Тонкоплівкові структури    Фізика--Фізична природа матерії--Властивості та структура молекулярних систем--Ніздрювата структура, волокниста структура, пластична структура, плівки, тонкі плівки Дод.точки доступу: Быков, В.