Русавский, А. В.
    Особенности трансформации водородных связей и графитизации свободного углевода в пленках a-SiC:H при вакуумном отжиге [Текст] / А. В. Русавский, А. В. Васин, А. Н. Назаров, В. С. Лысенко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: сб. науч. тр. - К. : Наук. думка, 2007. - Вип. 42. - С. 39-44. - Библиогр. в конце ст.
УДК
Рубрики: Фізика--Фізична природа матерії--Властивості та структура молекулярних систем--Одержання тонких плівок


Дод.точки доступу:
Васин, А. В.; Назаров, А. Н.; Лысенко, В. С.
Є примірники у відділах:
1 Інв.В 70834 - Б.ц. (вільний)